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          專業生產KT(凸腔)系列,KTA(凸腔矮泵)系列,KTD(凸腔低返油)系列高真空油擴散泵、高真空油擴散泵機組、DH系列多弧離子鍍膜機、磁控濺射鍍膜機大地彩票平台注册大地彩票平台注册、SDB系列水冷擋板和FDB系列低溫冷阱、GDQ系列高真空氣動擋板閥大地彩票平台注册、DDCY系列電磁壓差閥、QCF系列氣動充氣閥以及形狀各異的高真空容器。


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          真空腔室的模塊化設計和加工

          真空腔室的模塊化設計和加工

          來源:
          2018/02/07 14:34
          【摘要】:
          該設備屬生產設備,主要功能包括:鈦/鋯磁控濺射鍍裝飾膜大地彩票平台注册,反應膜、復合膜。其它功能還包括:行星旋轉基片臺、負偏壓輔助沉積大地彩票平台注册、PLC+HMI真空自動/手動控制、水冷循環及斷水保護系統,預留多個標準接口。真空腔室的模塊化設計和加工。通過此項技術提高了腔室設計和加工效率,提高了重大部件的加工質量和互換性大地彩票平台注册,縮短了整條線的交貨周期。使用高性能旋轉陰極和中頻電源,最大蒸發電流達到400A,大大提高生產效率及膜層性
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